ОПТИМИЗАЦИЯ ГЕОМЕТРИИ НАГРЕВАТЕЛЬНОГО УСТРОЙСТВА ДЛЯ ТЕРМОМИГРАЦИИ НА 150 MM КРЕМНИЕВЫХ ДИСКАХ
| Направление | Электроника, нанотехнологии и наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Гаврус Игорь Викторович, Степченко Артем Дмитриевич, Яковенко Алексей Анатольевич |
| Организация | Южно-Российский государственный технический университет (Новочеркасский политехнический институт) |
| Доклад | Просмотреть доклад |