КИНЕТИКА СИЛИЦИДООБРАЗОВАНИЯ В ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУРАХ YB-SI(111)
| Направление | Электроника, нанотехнологии и наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Мальков Дмитрий Александрович |
| Организация | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» |
| Доклад | Просмотреть доклад |