ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА ГИБКИХ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ СОЗДА-НИЯ КОЛЛОИДНОГО ШАБЛОНА В МИКРОСФЕРНОЙ ЛИТОГРА-ФИИ
| Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Минько Константин Романович |
| Организация | Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана |
| Доклад | Просмотреть доклад |