ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА ГИБКИХ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ СОЗДА-НИЯ КОЛЛОИДНОГО ШАБЛОНА В МИКРОСФЕРНОЙ ЛИТОГРА-ФИИ
Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
---|---|
ФИО авторов | Минько Константин Романович |
Организация | Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана |
Доклад | Просмотреть доклад |