ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА СОЗДАНИЯ МАСОК И МОДИФИКАЦИИ ПЛЕНОК С ПОМОЩЬЮ СИЛОВОЙ ЛИТОГРАФИИ

Направление Электроника, нанотехнологии, наноматериалы
ФИО авторов Лапухов Алексей Владимирович, Мелконян Георгий Эдуардович
Организация Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»
Доклад Просмотреть доклад

Обсудить доклад