Дефекты при ионно-плазменной обработке устройств микроэлектроники

Направление	Электроника, нанотехнологии, наноматериалы
ФИО авторов	Пименов Илья Евгеньевич
Организация	МГТУ им. Н.Э.Баумана
Доклад	Просмотреть доклад

Обсудить доклад