Дефекты при ионно-плазменной обработке устройств микроэлектроники
Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
---|---|
ФИО авторов | Пименов Илья Евгеньевич |
Организация | МГТУ им. Н.Э.Баумана |
Доклад | Просмотреть доклад |
Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
---|---|
ФИО авторов | Пименов Илья Евгеньевич |
Организация | МГТУ им. Н.Э.Баумана |
Доклад | Просмотреть доклад |