Дефекты при ионно-плазменной обработке устройств микроэлектроники

Направление Электроника, нанотехнологии, наноматериалы
ФИО авторов Пименов Илья Евгеньевич
Организация МГТУ им. Н.Э.Баумана
Доклад Просмотреть доклад

Обсудить доклад