О влиянии плазменной обработки на поверхностный слой оксида алюминия
| Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Мальцев Владислав Чергеевич |
| Организация | Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана |
| Доклад | Просмотреть доклад |