Разработка модуля контроля и управления температурой подложки для осаждения тонкопленочных покрытий в вакууме
| Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Купцов Алексей Дмитриевич, Сидорова Светлана Владимировна |
| Организация | Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана |
| Доклад | Просмотреть доклад |