Подготовка поверхности монокристаллических подложек алмаза для процессов эпитаксиального роста
Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
---|---|
ФИО авторов | Нэту Матеуш Лауриану |
Организация | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» |
Доклад | Просмотреть доклад |