ИССЛЕДОВАНИЕ НЕРАВНОМЕРНОСТИ ТОЛЩИНЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ОТ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МИШЕНЕЙ TIO2 И SIO2
| Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Макарова Камила Туреккановна |
| Организация | Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана |
| Доклад | Просмотреть доклад |