Исследование морфологии поверхности слоев фосфида галлия на Si, выращенных методом ALD
| Направление | Наноматериалы и нанотехнологии |
|---|---|
| ФИО авторов | Курасова Камилла Константиновна |
| Организация | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» |
| Доклад | Просмотреть доклад |