ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ГОРЯЧЕЙ ТИТАНОВОЙ МИШЕНИ
| Направление | Электроника и оптоэлектронные приборы |
|---|---|
| ФИО авторов | Искрижицкая Екатерина Евгеньевна |
| Организация | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» |
| Доклад | Просмотреть доклад |