Исследование тепловых процессов, протекающих при магнетронном распылении сэндвич-мишени
| Направление | Электроника и оптоэлектронные приборы |
|---|---|
| ФИО авторов | Козин Александр Андреевич, Искрижицкая Екатерина Евгеньевна, Макаров Кирилл Сергеевич, Шабалин Александр Евгеньевич |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина) СПбГЭТУ |
| Доклад | Просмотреть доклад |