Управление прогибом микромеханических мембран

Направление	Электроника и оптоэлектронные приборы
ФИО авторов	Михайлова Ольга Николаевна
Организация	СПбГЭТУ ЛЭТИ
Доклад	Просмотреть доклад

Обсудить доклад