Разработка программы для калибровки пьезосканера зондового микроскопа на основе измерений подложек TGS1
| Направление | Наноматериалы и нанотехнологии |
|---|---|
| ФИО авторов | Хеглунд Иван Леонидович, Кристюк Елена Михайловна |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина) СПбГЭТУ |
| Доклад | Просмотреть доклад |