Модель распыления горячей мишени в среде двух реактивных газов

Направление Наноматериалы и нанотехнологии
ФИО авторов Гончаров Алексей Олегович
Организация Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина) СПбГЭТУ
Доклад Просмотреть доклад

Обсудить доклад