Модель распыления горячей мишени в среде двух реактивных газов
| Направление | Наноматериалы и нанотехнологии |
|---|---|
| ФИО авторов | Гончаров Алексей Олегович |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина) СПбГЭТУ |
| Доклад | Просмотреть доклад |