Нагревание подложки при распылении горячей титановой мишени в среде аргона
| Направление | Электроника и оптоэлектронные приборы |
|---|---|
| ФИО авторов | Беляев Егор Ильич |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) |
| Доклад | Просмотреть доклад |