РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО УСТРОЙСТВА ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ КИНЕТИКИ ТЕПЛОВЫХ ПРОЦЕССОВ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ
Направление | Электроника и оптоэлектронные приборы |
---|---|
ФИО авторов | Кунцов Владислав Константинович |
Организация | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) |
Доклад | Просмотреть доклад |