ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕЛЬТА-ЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЕВ В CVD-АЛМАЗЕ
| Направление | Электроника и оптоэлектронные приборы |
|---|---|
| ФИО авторов | Шестакова Людмила Михайловна |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) |
| Доклад | Просмотреть доклад |