Физико-химическая модель высокомощного реактивного распыле-ния металлической горячей мишени в азотосодержащей среде

Направление Электроника и оптоэлектронные приборы
ФИО авторов Яшенькина Джессика Анджела
Организация Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)
Доклад Просмотреть доклад

Обсудить доклад