Физико-химическая модель высокомощного реактивного распыле-ния металлической горячей мишени в азотосодержащей среде
Направление | Электроника и оптоэлектронные приборы |
---|---|
ФИО авторов | Яшенькина Джессика Анджела |
Организация | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) |
Доклад | Просмотреть доклад |