Исследование влияния режимов анодного травления на формирование однородной пористой структуры кремния
| Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Яковлева Ульяна Андреевна |
| Организация | Национальный исследовательский технологический университет «МИСИС |
| Доклад | Просмотреть доклад |