МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (MEMS): СОСТОЯНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ
| Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Хамиджонов Нодиржон Комилжон Угли |
| Организация | Ташкентский государственный технический университет имени Ислома Каримова |
| Доклад | Просмотреть доклад |