Исследование влияния температуры осаждения на поверхностное сопротивление тонких плёнок Nb-Al, полученных методом магнетронного распыления
| Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Романов Сергей Сергеевич |
| Организация | Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана |
| Доклад | Просмотреть доклад |