Исследование неравномерности тонкой пленки NB-Al при совместном магнетронном распылении
| Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Фетисов Иван Сергеевич |
| Организация | Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана |
| Доклад | Просмотреть доклад |