Исследование неравномерности тонкой пленки NB-Al при совместном магнетронном распылении
Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
---|---|
ФИО авторов | Фетисов Иван Сергеевич |
Организация | Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана |
Доклад | Просмотреть доклад |