Разработка системы автоматического управления температурой подложкодержателя на установке ВУП-11М
| Направление | Информатика и управление в технических системах и ВТ |
|---|---|
| ФИО авторов | Мавлявиев Тимур Ильгизарович, Моисеев Константин Михайлович |
| Организация | Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана |
| Доклад | Просмотреть доклад |