Возможности и ограничения метода контактной профилометрии для межоперационного контроля при производстве ФПЗС
| Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Одинцов Алексей Владиславович |
| Организация | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» |
| Доклад | Просмотреть доклад |