Разработка маски для ионной имплантации в SiC-технологии
| Направление | Электроника, нанотехнологии, наноматериалы |
|---|---|
| ФИО авторов | Беденкова Марина Александровна, Клевцов Антон Игоревич |
| Организация | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» |
| Доклад | Просмотреть доклад |