Оптимизация технологических приемов получение контактных окон для формирования межсоединений в МИС СВЧ

Направление Наноматериалы и нанотехнологии
ФИО авторов Осипов Владислав Дмитриевич
Организация Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»
Доклад Просмотреть доклад

Обсудить доклад