Оптимизация технологических приемов получение контактных окон для формирования межсоединений в МИС СВЧ
| Направление | Наноматериалы и нанотехнологии |
|---|---|
| ФИО авторов | Осипов Владислав Дмитриевич |
| Организация | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» |
| Доклад | Просмотреть доклад |