Оптимизация технологических приемов получение контактных окон для формирования межсоединений в МИС СВЧ
Направление | Наноматериалы и нанотехнологии |
---|---|
ФИО авторов | Осипов Владислав Дмитриевич |
Организация | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» |
Доклад | Просмотреть доклад |