Вольтамперные характеристики магнетронного распыления
| Направление | Наноматериалы и нанотехнологии |
|---|---|
| ФИО авторов | Фисенко Анна Андреевна, Кудряшова Александра Алексеевна, Шестаков Дмитрий Сергеевич |
| Организация | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)» |
| Доклад | Просмотреть доклад |